仪器设备 / 生物物理研究院 / 光刻机
光刻机
自主上机
光刻机
仪器编号
2017218902
规格
生产厂家
中国中科院
型号
中科院URE-2000/35L
制造国家
中国
购置日期
2017-06-23
放置地点
东校区启智楼五楼0575
出厂日期
2017-06-23

主要规格及技术指标

掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸；

主要附件及配置

无

主要功能及特色

正面对准、接近/接触式曝光功能。

公告名称 公告内容 发布日期

暂无收费标准

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